工业标准频率（ISM 频段）

13.56 MHz 属于 ISM（Industrial, Scientific, Medical）开放频段，由国际通信标准分配，设备在该频率工作不需要单独的无线电发射许可，因此成为半导体射频设备（刻蚀、CVD、PVD）的事实标准。其倍频 27.12 MHz、40.68 MHz 也在允许范围内。

不同频率的工艺分工

  • 高频（如 60 MHz、40.68 MHz）：电子在一个周期内振荡次数多，离化效率高，主要影响等离子体密度（解离率）
  • 低频（如 13.56 MHz、2 MHz、400 kHz）：离子能响应鞘层电场变化，轰击能量更高，主要影响离子能量（物理轰击）
  • 双频 CCP/ICP 即利用这一规律：高频控密度，低频控能量

常见缩写

  • RF（Radio Frequency）：射频
  • Match / Matcher（Impedance Matcher，阻抗匹配器）：将腔体变化的阻抗匹配到 50 Ω，使射频功率反射最小
  • Reflected Power（反射功率）：匹配不良时返回电源的功率，正常应接近 0